Nanopartikel-freier Humistat zur Anwendung in Reinräumen

Abstract

Die Bestimmung von freigesetzten Nanopartikeln aus verschiedenen Proben bei unterschiedlichen Luftfeuchtigkeitswerten war in diesem Projekt ein dringend zu lösendes Problem. Dafür musste die Messkammer des verwendeten Partikelzählers mit Nanopartikel-freier Luft mit definierter Feuchtigkeit bei Raumtemperatur versorgt werden. Kommerzielle Luftbefeuchtungssysteme gewährleisten keine Partikel-freie Luftversorgung und können daher nicht für Partikelmessgeräte oder Reinräume eingesetzt werden. Daher sollte ein entsprechendes Gerät entwickelt und kosteneffizient konstruiert werden. Es sollte kompakt und mobil, vollautomatisch und leicht zu bedienen sein, um es einfach mit bestehenden Messsystemen verbinden und in Reinräumen verwenden zu können. Die Luft sollte am Ausgang unter optimalen Bedingungen Raumtemperatur aufweisen, um Kondensationsphänomene zu vermeiden und mit Normaldruck in das Endgerät eingespeist werden.