Entwicklung einer katalytischen APCVD Anlage zur Abscheidung von SiO2 Schichten

Simple item page
dc.contributor.authorHaindl, Michael
dc.contributor.authorSchalkhammer, Thomas
dc.contributor.authorPalkovits, Roland
dc.date.accessioned2019-04-23T23:32:49Z
dc.date.available2019-04-23T23:32:49Z
dc.date.issued2019-04
dc.identifier.otherFFH2019_127
dc.identifier.urihttp://ffhoarep.fh-ooe.at/handle/123456789/1347
dc.subjectAPCVD
dc.subjectSiliziumdioxid
dc.subjectTEOS
dc.subjectGasphasenbeschichtung
dc.titleEntwicklung einer katalytischen APCVD Anlage zur Abscheidung von SiO2 Schichten

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Name:
FFH2019_Abstract_127.pdf
Size:
110.37 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Download

Collections

304) Postersession 4