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http://ffhoarep.fh-ooe.at/handle/123456789/1347| Titel: | Entwicklung einer katalytischen APCVD Anlage zur Abscheidung von SiO2 Schichten |
| Autoren: | Haindl, Michael Schalkhammer, Thomas Palkovits, Roland |
| Stichwörter: | APCVD Siliziumdioxid TEOS Gasphasenbeschichtung |
| Erscheinungsdatum: | Apr-2019 |
| URI: | http://ffhoarep.fh-ooe.at/handle/123456789/1347 |
| Enthalten in den Sammlungen: | 304) Postersession 4 |
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